氮化硅是一種重要的新型結(jié)構(gòu)陶瓷材料，強度高，尤其是熱壓氮化硅，是世界上最堅硬的物質(zhì)之一。氮化硅極耐高溫，可以在1200℃高溫下保持強度不下降，直到1900℃才會分解，且具有驚人的耐化學腐蝕性能，能耐幾乎所有的無機酸和30%以下的燒堿溶液，同時又是一種高性能電絕緣材料。

氮化硅高密度、超硬度、潤滑性、耐磨損、耐腐蝕、耐高溫和不易傳熱的優(yōu)點，使其廣泛應用于軸承、氣輪機葉片、永久性模、陶瓷密封環(huán)等機械構(gòu)件及熱電偶管、火箭噴嘴、熔解金屬的坩堝等高溫零部件的制造。

但是氮化硅中陰離子雜質(zhì)尤其是鹵素會對相關接觸部件造成嚴重腐蝕，從而影響構(gòu)件的機械強度和密封環(huán)的密封效果，因此對氮化硅中陰離子雜質(zhì)的準確測定具有重要意義。

采用盛瀚CIC-D150智能型離子色譜儀，使用SH-AC-11色譜柱可以測定氮化硅中的陰離子。

稱取約1g的樣品（粉末樣品），記錄質(zhì)量（精確至0.001g），加入100mL超純水，超聲提取30min，靜置，取上清液過0.22μm濾膜進樣分析；取100mL超純水同等條件下處理，過0.22μm濾膜進樣分析作為對照組。

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盛瀚CIC-D150型離子色譜儀定位于智能化，實現(xiàn)了手機APP遠程操控、定時開機預熱，智能大屏實時顯示儀器參數(shù)和運行狀態(tài)，一鍵智能維護等功能，使用更加便捷大大提高了實驗室生產(chǎn)力和用戶體驗。

D150具有高精度、可靠的分析能力，無需設置量程，輕松實現(xiàn)100ppb-100ppm濃度樣品的同時測定，設置微型氣液分離器，可將淋洗液中的氣泡進行分離。

樣品1譜圖

樣品2譜圖

注意事項

實驗過程中易受到污染，要求實驗人員嚴格按照操作規(guī)程操作。

可行性分析及結(jié)論

通過上述實驗證明，該檢測方法分離度良好，適用于樣品中待測組分含量的測定。